一种光电探测器、光电逻辑门器件及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202210288003.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114709333A | 公开(公告)日 | 2022-07-05 |
申请公布号 | CN114709333A | 申请公布日 | 2022-07-05 |
分类号 | H01L51/42(2006.01)I;H01L51/48(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 陈心满;陈运凯;黄梓熙 | 申请(专利权)人 | 华南师大(清远)科技创新研究院有限公司 |
代理机构 | 北京清控智云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 511518广东省清远市高新区创兴大道18号天安智谷科技产业园总部楼F03 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种光电探测器、光电逻辑门器件及其制备方法,该光电逻辑门器件包括位于衬底上的石墨烯导电沟道层,位于导电沟道层上的γ‑石墨二炔吸光和电荷捕获层,以及位于吸光和电荷捕获层上两端的第一电极和第二电极,其以第一电极作为供能电极,以第二电极作为输出电极,在两个电极之间施加恒定的偏压,并以不同波长的两束激光作为光信号照射γ‑石墨二炔层,构筑了光电响应性能良好的光电逻辑门器件。该光电逻辑门器件在外部光波长365nm至980nm范围内均有着较好的光响应度,扩宽了光波的响应范围。并且本发明提供的一步水热反应法获得的γ‑石墨二炔层连续性好,简化了工艺,降低了成本。 |
