激光加热装置及其激光加热闭环控制装置

基本信息

申请号 CN202021013276.0 申请日 -
公开(公告)号 CN211788944U 公开(公告)日 2020-10-27
申请公布号 CN211788944U 申请公布日 2020-10-27
分类号 H01L21/67(2006.01)I;G01J5/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王文;林佛迎 申请(专利权)人 深圳市微组半导体科技有限公司
代理机构 深圳正和天下专利代理事务所(普通合伙) 代理人 深圳市微组半导体科技有限公司
地址 518000广东省深圳市宝安区松岗街道沙浦社区洋涌工业区8路2号碧桂园厂房6栋401
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种激光加热装置及其激光加热闭环控制装置,包括激光闭环镜组件、红外测温组件、以及控制组件;激光闭环镜组件安装在激光头出光的方向上,激光闭环镜组件内设有镜片组,使激光头射出的激光穿过和折射,激光闭环镜组件上设有供折射出的光线射出的出光口;红外测温组件与出光口相对,以测取折射出的激光的温度;控制组件分别与激光光纤耦合组件和红外测温组件通信连接,以根据测取的温度信息控制激光头射出的温度。激光加热闭环控制装置能测得激光的温度,并反馈给控制组件,能够精确控制温度和加热时间,返修的效率高,定位精准,并能够有效避免溢出热的产生。