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一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置

基本信息

申请号 CN202120432219.4 申请日 -
公开（公告）号 CN214552239U 公开（公告）日 2021-11-02
申请公布号 CN214552239U 申请公布日 2021-11-02
分类号 B01D50/00（2006.01）I;B01D53/86（2006.01）I;B01D53/56（2006.01）I;B01D53/26（2006.01）I;B01D53/18（2006.01）I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 史隽涛 申请（专利权）人 沁阳国顺硅源光电气体有限公司
代理机构 焦作市科彤知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 秦贞明
地址 454550河南省焦作市沁阳市东环南路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于化学气相沉积技术领域，特别涉及一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，旋风除尘器进气口连接实验室尾气管，旋风除尘器连接至滤筒除尘器，旋风除尘器和滤筒除尘器出灰口连接至集灰罐进灰口，滤筒除尘器出气口连接至活性炭毡过滤器，活性炭毡过滤器出气口连接至光催化反应器，光催化反应器进气口还连接有氯气进气管，光催化反应器出气口连接至引风机，引风机出气口伸至喷淋吸收塔底部集水槽液面下，喷淋吸收塔出液口连接至储水池，喷淋吸收塔设有喷淋器，喷淋器进水端通过循环泵连接至储水池，喷淋吸收塔出气口连接至排空管，排空管内还设有生石灰填料层。该除尘装置的除尘效果好，尾气净化更彻底，实现无害化排放，避免大气污染。