一种三甲基硅烷生产用尾气处理装置

基本信息

申请号 CN202120421697.5 申请日 -
公开(公告)号 CN214552486U 公开(公告)日 2021-11-02
申请公布号 CN214552486U 申请公布日 2021-11-02
分类号 B01D53/78(2006.01)I;B01D50/00(2006.01)I;B01D5/00(2006.01)I;B01D53/68(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 史隽涛 申请(专利权)人 沁阳国顺硅源光电气体有限公司
代理机构 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 秦贞明
地址 454550河南省焦作市沁阳市东环南路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及尾气处理技术领域的一种三甲基硅烷生产用尾气处理装置,包括冷凝器、气液旋风分离器、三甲基硅烷储罐、喷淋塔和储液罐,冷凝器的尾气出口与气液旋风分离器的进气口相连通,气液旋风分离器的排气口与喷淋塔的进气口相连通,冷凝器的排液口和气液旋风分离器的排液口均与三甲基硅烷储罐相连通,喷淋塔顶部设有集气罩、上部设有除雾层,中部设有多层喷淋管、底部设有集液斗,集气罩顶部设有抽气管,抽气管上设有活性炭过滤器和抽风机,集液斗通过出液管与储液罐相连通,储液罐顶部设有抽液泵,抽液泵通过喷淋母管与喷淋管相连通。本装置能够对三甲基硅烷生产尾气内的三甲基硅烷进行高效回收,且可脱除尾气中的氯化氢。