一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法

基本信息

申请号 CN202010651932.8 申请日 -
公开(公告)号 CN113913829A 公开(公告)日 2022-01-11
申请公布号 CN113913829A 申请公布日 2022-01-11
分类号 C23F1/46(2006.01)I;C25C1/12(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 黄明安;王璇;刘军;李光辉 申请(专利权)人 四会富仕电子科技股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 526236广东省肇庆市四会市下茆镇电子产业园2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明的目的是提供一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法,本发明将浓盐酸进行再利用,添加到再生液中促使循环系统中累积的氯化钠析出,并排出到系统以外,再生液中加入的浓盐酸又通过酸度控制的方式自动加入到蚀刻液中;水加入到再生液中降低了氯离子和比重,又通过比重控制的方式也加入到蚀刻液中;本发明实现了再生液的回用难题,没有增加化学品的成本,没有再生液的增量问题。