一种激光辅助制作精密线路的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种激光辅助制作精密线路的方法

基本信息

申请号	CN202111465495.1	申请日	-
公开（公告）号	CN114158195A	公开（公告）日	2022-03-08
申请公布号	CN114158195A	申请公布日	2022-03-08
分类号	H05K3/00（2006.01）I;H05K3/06（2006.01）I	分类	其他类目不包含的电技术;
发明人	黄明安;温淦尹	申请（专利权）人	四会富仕电子科技股份有限公司
代理机构	深圳市精英创新知识产权代理有限公司	代理人	邓星文
地址	526243广东省肇庆市四会下茆镇电子产业基地2号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种激光辅助制作精密线路的方法，包括以下步骤：提供一生产板，在生产板上所需制作的线路包括线路间距＞50μm的粗线路以及线路间距≤50μm的精密线路；在生产板上贴膜并进行曝光处理，完成粗线路和精密线路的曝光，且精密线路之间的间隙部分也全部被曝光；对生产板进行显影和蚀刻处理，蚀刻时的蚀刻量控制在大于线路铜厚的一半且不露底层基材；采用激光烧蚀精密线路之间的间隙部分，以去除精密线路间隙处的膜和部分铜层；再次对生产板进行蚀刻处理和退膜，在生产板上形成粗线路和精密线路。本发明通过优化工艺流程，依次采用激光烧蚀和化学蚀刻两种组合去铜的方式，可以实现间距≤50微米的精密线路的制作，材料及加工成本低，流程简单。