一种填孔电镀的方法

基本信息

申请号 CN202210323395.3 申请日 -
公开(公告)号 CN114507886A 公开(公告)日 2022-05-17
申请公布号 CN114507886A 申请公布日 2022-05-17
分类号 C25D5/02(2006.01)I;C25D3/38(2006.01)I 分类 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕;
发明人 黄明安;温淦尹;熊书华 申请(专利权)人 四会富仕电子科技股份有限公司
代理机构 深圳市精英创新知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 526243广东省肇庆市四会下茆镇电子产业基地2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种填孔电镀的方法,包括以下步骤:在第一电镀液中添加加速剂,形成预浸液;其中,所述预浸液中加速剂的含量为100‑120mg/L;将制作有金属化盲孔的生产板浸入预浸液中,以使金属化盲孔孔内被预浸液充分浸润;而后采用含加速剂和抑制剂的第二电镀液对生产板进行填孔电镀,以电镀填平金属化盲孔;其中,所述第二电镀液中加速剂的含量为6‑12mg/L,抑制剂的含量为300‑1600mg/L。本发明通过优化工艺流程,采用预浸高浓度加速剂的方式,从而不用在电镀液中添加整平剂,采用两种添加剂减少了多种添加成分的相互影响,且先进行预浸加速剂在盲孔内形成所需要的分布,减少了控制的难度,提高了填孔的质量,降低了成本。