一种薄膜压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN202210427171.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114689227A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114689227A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | G01L1/22（2006.01）I;G01L1/14（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郝东;浦广益;王枫 | 申请（专利权）人 | 无锡尚合达智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号鲸鱼座C座10楼1006室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种薄膜压力传感器，包括有本体，本体为金属块，在本体顶部中心设置有圆柱形金属块凸起，圆柱形金属块凸起中心设置有圆柱形第一空腔，本体底部设置有圆柱形第二空腔，第二空腔与第一空间之间通过薄膜间隔开；在第一空腔的顶部设置有压板；第二空腔顶部超出第一空腔的圆环面上均匀分布有电阻应变片，本申请通过压板引起第一空腔变形从而使薄膜变形，没有其他外力直接作用在薄膜上，保证了电阻应变片测量的精度，并且将电阻应变片设置在第二空腔顶部超出第一空腔的圆环面上，能够避免载荷过载导致的整体剪切的破坏现象，提高了整体装置在极端工况下测量的可靠性。 |
