烘干固化炉装置和烘干方法
基本信息
| 申请号 | CN202110297953.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112964047A | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN112964047A | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | F26B15/14（2006.01）I;F26B25/18（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I;F26B25/06（2006.01）I;F26B3/02（2006.01）I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 左国军;吴勇茂;钟文魁;罗搏飞;冼志军 | 申请（专利权）人 | 常州捷佳创智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 尚志峰 |
| 地址 | 213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种烘干固化炉装置和烘干方法，固化炉装置包括：花篮，工件沿第一方向叠放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。本发明的技术方案中，花篮用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率。 |
