一种生物识别模块及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201911159460.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111029261B | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN111029261B | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/31;H01L23/488 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王桥 | 申请（专利权）人 | 徐州顺意半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京高航知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘艳玲 |
| 地址 | 650032 云南省昆明市五华区学府路745号学府中心12层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种生物识别模块及其制备方法，其方法包括：提供具有相对的第一表面以及第二表面的衬底，在所述衬底的第一表面上形成第一介质层以及导电布线层；在所述第一介质层中形成一开槽区，接着在所述开槽区中嵌入一弹性缓冲层；提供一载板，在所述载板上设置离型膜以及生物识别芯片，通过光刻工艺在所述生物识别芯片的焊盘的四周形成金属挡墙结构，在所述导电布线层中与所述焊盘对应的区域设置焊球，接着将所述生物识别芯片设置于所述导电布线层上，使得所述弹性缓冲层接触所述生物识别芯片，并通过回流焊工艺使得焊球融化进而嵌入到相应的所述金属挡墙结构中；在所述衬底上形成塑封层并在其中形成导电柱；最后减薄所述衬底。 |
