一种离子引出系统驱动装置
基本信息
| 申请号 | CN201710560156.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109216141A | 公开（公告）日 | 2019-01-15 |
| 申请公布号 | CN109216141A | 申请公布日 | 2019-01-15 |
| 分类号 | H01J37/04;H01J37/15;H01J37/317 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 方明江;蔡成振 | 申请（专利权）人 | 无锡诚承电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214028江苏省无锡市新吴区城南路208号A栋一楼东 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种离子引出系统驱动装置，包括：X轴运动模块、Y轴运动模块、Z轴运动模块、R轴运动模块、真空密封模块、电极模块，所述电极模块由引出地电极、抑制电极、绝缘瓷柱等构成，该装置主要作用是驱动真空腔室中的电极模块相对于离子源弧室引出板做相应的运动，提高束流的传输效率与品质，形成理想束流发射状态，变于后面光路部件充分发挥作用。 |
