一种晶圆预剥离装置
基本信息
| 申请号 | CN202111574566.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114220753A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114220753A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 方明江 | 申请（专利权）人 | 无锡诚承电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 江苏迈图律师事务所 | 代理人 | 鲍敬 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区锡梅路88号无锡环普万联国际产业园B号厂房一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于半导体剥离设备技术领域，尤其为一种晶圆预剥离装置，包括超声波发生器和底部为漏斗状的溶液槽，所述超声波发生器上连接有震动棒，所述震动棒位于溶液槽内，所述溶液槽内安装有片架支撑架，所述片架支撑架的顶部安装有圆片架，所述溶液槽的底部连接有两组并联在一起的过滤组件，所述溶液槽内设有导管，所述导管位于圆片架的正上方，所述导管上连接有加热器，所述加热器和两个过滤组件之间连接有同一个循环泵本发明能够延长高压剥离机保养周期、并且有效回收金属，通过采用两套过滤组件可以保证更换滤芯时继续工作，减少宕机时间。 |
