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一种多阴极长寿命型离子源

基本信息

申请号 CN201910189383.4 申请日 -
公开（公告）号 CN109786199A 公开（公告）日 2019-05-21
申请公布号 CN109786199A 申请公布日 2019-05-21
分类号 H01J37/317（2006.01）I; H01J37/08（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 方明江; 蔡成振 申请（专利权）人 无锡诚承电子科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 214028 江苏省无锡市新吴区城南路208号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种多阴极长寿命型离子源，采用间接式加热阴极的方式。由轴向对称的灯丝和阴极的热阴极组合构成双阴极结构，多组双阴极结构可自由切换离子发射端及反射端，提高离子源的寿命，提高离子注入机设备的稳定性与高效率。