一种提高电子束熔炼多晶硅效率的装置
基本信息
| 申请号 | CN201821674964.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209161503U | 公开（公告）日 | 2019-07-26 |
| 申请公布号 | CN209161503U | 申请公布日 | 2019-07-26 |
| 分类号 | C01B33/037（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 唐子凡; 张磊; 庞大宇; 肖承祥; 张思源 | 申请（专利权）人 | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 地址 | 266000 山东省青岛市即墨市蓝色硅谷核心区创业中心一期-海创中心3号楼A座4-401 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及太阳能级多晶硅制造领域，尤其涉及一种提高电子束熔炼多晶硅效率的装置。本实用新型具有熔炼坩埚，熔炼坩埚的侧壁和底板之间的连接角设有向内的倾斜面，倾斜角度为45°‑60°，降低熔炼过程中边缘位置凝固层的厚度，增强电子束的熔炼效果。本实用新型在装置使用时通过控制电子束熔炼多晶硅过程中不同阶段的电子束扫描模式，来提高电子束熔炼多晶硅的效率，缩短生产时间，降低生产能耗，提高生产效率。 |
