一种介质熔炼后硅料高效提纯的装置

基本信息

申请号 CN201821674963.X 申请日 -
公开(公告)号 CN209383396U 公开(公告)日 2019-09-13
申请公布号 CN209383396U 申请公布日 2019-09-13
分类号 C01B33/037(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 肖承祥; 庞大宇; 郭校亮; 唐子凡; 侯雨新 申请(专利权)人 青岛蓝光晶科新材料有限公司
代理机构 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 青岛蓝光晶科新材料有限公司
地址 266000 山东省青岛市即墨市蓝色硅谷核心区创业中心一期-海创中心3号楼A座4-401
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及太阳能级多晶硅制造领域,尤其涉及一种介质熔炼后硅料高效提纯的装置。本实用新型装置的熔炼坩埚的结构为由后端向导液口倾斜;熔炼坩埚内具有若干间隔,每个间隔内槽对应一个熔炼槽,每个熔炼槽对应一个导液口;且使用时电子束熔炼能量分布模式与熔炼坩埚的结构相应的为自后端向导液口逐渐减小。本实用新型使用时通过电子束熔炼能量分布模式的选择,并选用多模熔炼坩埚结构,用来去除介质熔炼后硅料当中的碳化硅及挥发性杂质元素,成本低、效果好。