电子束熔炼去除硅中挥发性杂质的装置

基本信息

申请号 CN201821682499.9 申请日 -
公开(公告)号 CN209383398U 公开(公告)日 2019-09-13
申请公布号 CN209383398U 申请公布日 2019-09-13
分类号 C01B33/037(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 孙雨萱; 郭校亮; 张磊; 张思源; 肖承祥 申请(专利权)人 青岛蓝光晶科新材料有限公司
代理机构 青岛发思特专利商标代理有限公司 代理人 青岛蓝光晶科新材料有限公司
地址 266237 山东省青岛市即墨市青岛蓝色硅谷核心区创业中心一期-海创中心3号楼A座4-401
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种电子束熔炼去除硅中挥发性杂质的装置,属于硅的纯化技术领域。本实用新型所述的装置包括超声波发生器,超声波发生器设于水冷底座下方,水冷底座设有超声传动杆安装孔,超声波发生器的超声传动杆穿过超声传动杆安装孔并与水冷坩埚相连。本实用新型公开了一种结构简单、紧凑且熔炼效率高的熔炼装置。