一种PKG用单颗UNIT自动清洗装置及其方法
基本信息
| 申请号 | CN202111217703.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113964069A | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN113964069A | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郭强;马勉之 | 申请（专利权）人 | 华天科技（南京）有限公司 |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 高博 |
| 地址 | 211805江苏省南京市浦口区桥林街道丁香路16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种PKG用单颗UNIT自动清洗装置及其方法，装置底座上设置有滤网扣盖，单颗UNIT设置在装置底座内，位于装置底座和滤网扣盖之间，装置底座的底部开有过滤孔。采用本发明的装置及方法进行返工作业，可优化现有流程，减少人员工作量，提升效率及返工质量。 |
