一种器件内外表面一体成像方法
基本信息
申请号 | CN202010515487.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111487254A | 公开(公告)日 | 2020-08-04 |
申请公布号 | CN111487254A | 申请公布日 | 2020-08-04 |
分类号 | G01N21/88;B07C5/342;G03B15/06 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 谢纪东;刘晓春;包崇兵 | 申请(专利权)人 | 长沙麦睛科技股份有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 410000 湖南省长沙市岳麓区岳麓街道溁左路中南大学科技园研发总部1栋249房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种器件内外表面一体成像方法,第八件和第九件为左右两个反射镜,反射形成第二像和第三像两个像;第二像和第三像两像通过第十件和第十一件反射镜形成第五像和第六像两个像;第一件通过第十二件和第十三件形成第五像和第六像两像;第一件顶部通过第十四件形成第十六像,通过第十五件生成第十七像;通过控制第八件、第九件、第十件、第十一件、第十二件、第十三件、第十四件、第十五件的角度,可使得所有需要被测量的像面处于同一平面上。本发明使用范围广泛,对于大多数被测物体都可以通过设计不同的反射镜组的大小和角度从而进行多面多角度成像、拍摄和测量。 |
