同时具有多波长、多入射角和多方位角的光学测量系统
基本信息
| 申请号 | CN200780016961.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101443647B | 公开（公告）日 | 2012-02-29 |
| 申请公布号 | CN101443647B | 申请公布日 | 2012-02-29 |
| 分类号 | G01N21/55(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吕彤欣;王笑寒 | 申请（专利权）人 | 睿励微电子设备（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司;睿励微电子设备（上海）有限公司 |
| 地址 | 200120 上海浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种光学测量和/或检测装置，该装置在一个应用中可被用来检测半导体器件。它包括：光源，用以提供入射光线；具有内反射面的半抛物面反射器，其中，所述反射器具有焦点和对称轴；和置于焦点附近的待测器件。和反射器的对称轴平行的入射光线进入反射器后，将被导向到焦点以及从待测器件上反射离开，从而产生表示该待测器件的指示信息，然后反射光线离开该反射器。探测器阵列接收反射出来的光线，该光线可被分析以确定待测器件的特征。 |
