光谱椭偏仪
基本信息
| 申请号 | CN200780022259.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101467306B | 公开（公告）日 | 2012-12-26 |
| 申请公布号 | CN101467306B | 申请公布日 | 2012-12-26 |
| 分类号 | G01N21/21(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吕彤欣;王笑寒 | 申请（专利权）人 | 睿励微电子设备（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司;睿励微电子设备（上海）有限公司 |
| 地址 | 201200 上海浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种光学测量和/或检测装置，其在一个应用中可用来检测半导体器件。本发明揭示了一种在椭偏仪中用于获取待测器件信息的方法，其中包括以下步骤：使用多个起偏器提供多个入射偏振光束，其中每一个光束在一个设定好的偏振角下被起偏；使用一个抛物面反射器将该多个入射偏振光束聚焦在待测器件上某一点；使用一个抛物面反射器收集从该待测器件上反射的多个光束；使用多个检偏器检偏该收集到的光束，其中每一个检偏器具有设定好的与相应起偏器相对应的偏振角。 |
