机械手传输位置校准的方法
基本信息
| 申请号 | CN202111612130.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114227657A | 公开（公告）日 | 2022-03-25 |
| 申请公布号 | CN114227657A | 申请公布日 | 2022-03-25 |
| 分类号 | B25J9/06（2006.01）I;B25J19/00（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 刘小俊;左少杰;李春龙;卓鸿俊 | 申请（专利权）人 | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王志红 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体领域，具体公开了一种机械手传输位置校准的方法，包括以下步骤：驱动机械手夹持部朝靠近第一个传输位置P1的方向运动，并确定机械手夹持部运动至第一个传输位置P1，获取每个转轴在第一个传输位置P1所对应的步进马达的校正步数S1、S2、S3、S4...Sn；根据L2‑1/X1....n＝L0/S1‑n，计算得到校准后的X1....n；依次类推，计算得到每个转轴在P3、P4......Pn所对应的步进马达的校准步数其中，N、P、n为正整数。本申请通过设置第一激光器、第二激光器，通过对第一个传输位置的校准，能够实现其他多个传输位置的校准，减少传输位置校准的时间和大幅提高传输位置校准精度。 |
