一种用于化学机械研磨设备的研磨头的挡圈
基本信息
| 申请号 | CN202111289530.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114131502A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114131502A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | B24B37/34（2012.01）I;B24B37/12（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 左少杰;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 | 申请（专利权）人 | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓玲 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头的挡圈，包括：金属材料环；以及塑料嵌包结构，所述塑料嵌包结构嵌包所述金属材料环，并且所述塑料嵌包结构通过耦合结构与所述金属材料环连接；其中，所述挡圈设置有贯穿其内外侧壁的至少一个通孔。本发明的挡圈通过设置贯穿其内外侧壁的通孔，使得用于清洗研磨头的液体可以从侧面进入到挡圈和隔膜之间的缝隙中，从而去除残留在缝隙中的研磨液，减少研磨液结晶，进而减少结晶掉落导致的晶圆刮伤。 |
