分子泵

基本信息

申请号 CN202210212040.7 申请日 -
公开(公告)号 CN114623089A 公开(公告)日 2022-06-14
申请公布号 CN114623089A 申请公布日 2022-06-14
分类号 F04D19/04(2006.01)I;F04D29/70(2006.01)I 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 刘小俊;陈涛;李春龙;卓鸿俊 申请(专利权)人 北京子牛亦东科技有限公司
代理机构 北京辰权知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大兴区经济技术开发区科谷二街10号院B区5号楼7层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及真空泵技术领域,具体公开了一种分子泵,包括:机体,内部具有腔体,所述机体的侧壁开设有与所述腔体连通的入口,所述机体的底部端面开设有所述腔体连通的出口;注入管路,与所述入口连通,以将外部的自清洁剂导入所述腔体内;排出管路,与所述出口连通,以将所述腔体内的残余液体排出。本申请通过在机体上设置注入管路以及排出管路,可以将自清洁剂自注入管路注入机体内,并将机体内的残余液体从排出管路排出机体,起到了清洁机体腔体的作用,延长了分子泵的寿命,减少故障率。