一种用于化学机械研磨设备的研磨头
基本信息
| 申请号 | CN202111406652.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114310657A | 公开（公告）日 | 2022-04-12 |
| 申请公布号 | CN114310657A | 申请公布日 | 2022-04-12 |
| 分类号 | B24B37/27（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B53/017（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 左少杰;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 | 申请（专利权）人 | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓玲 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头，其通过在挡圈外围设置整理环和位于所述整理环上方的环形气囊，使研磨头兼具研磨功能和整理功能，简化了结构设计。另外，由于本发明将整理环集成在研磨头上，因此，相比现有技术，本发明解决了整理器与研磨头容易相撞的问题。此外，本发明的整理环的下表面积比现有的整理器的下表面积更大，因此，提高了对研磨垫的整理效率。 |
