一种用于化学机械研磨设备的研磨头
基本信息
| 申请号 | CN202111290783.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114178980A | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN114178980A | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | B24B37/30（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 左少杰;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 | 申请（专利权）人 | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓玲 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头，该研磨头通过在研磨头本体上设置与挡圈和隔膜之间的缝隙相连通的通孔，同时设置与所述通孔相连通的传输管道，使得研磨液从所述缝隙流出后能够均匀分布在晶圆表面，从而确保晶圆表面的平坦化。 |
