一种用于化学机械研磨设备的研磨头的挡圈
基本信息
| 申请号 | CN202111289545.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114147624A | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN114147624A | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | B24B37/32（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 左少杰;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 | 申请（专利权）人 | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓玲 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头的挡圈，包括：金属材料环，所述金属材料环的上表面设置有螺栓孔；以及塑料嵌包结构，所述塑料嵌包结构设置在所述金属材料环的两个侧面和下表面，并且所述塑料嵌包结构的上表面和所述金属材料环的上表面齐平；其中，所述塑料嵌包结构与所述金属材料环通过耦合结构连接。本发明的挡圈取消了粘接剂的使用，利用成型工艺将塑料嵌包结构包裹在金属材料环的下表面和侧面，解决了粘结剂掉粉和剥离的问题，从而避免了晶圆刮伤、滑出和破片的发生。另外，所述金属材料环的上表面不存在塑料材料，避免了在旋拧螺栓时发生塑料嵌包结构变形而造成挡圈的工作面无法保持水平的问题，从而保证了晶圆的平坦度。 |
