一种用于化学机械研磨设备的研磨头的隔膜
基本信息
| 申请号 | CN202111576265.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114473853A | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN114473853A | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | B24B37/11（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 左少杰;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 | 申请（专利权）人 | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头的隔膜，该隔膜通过增大圆形膜片的直径并相应增大隔膜第一区的宽度，使第一区可直接接触晶圆并作用于晶圆边缘部分，同时利用第一卡环底部的凸起结构将晶圆固定，从而实现晶圆边缘厚度的精确控制，实现晶圆表面的平坦化。 |
