一种新型的用于离子注入机的离子源的阴极固定装置
基本信息
| 申请号 | CN202111321157.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114220726A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114220726A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | H01J37/317（2006.01）I;H01J37/30（2006.01）I;H01J37/04（2006.01）I;H01J9/18（2006.01）I;H01J37/08（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈涛;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 | 申请（专利权）人 | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张晓玲 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10号院6号楼3层305-11（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于离子注入机的离子源的阴极固定装置，包括：紧固件；卡具，所述卡具设置在阴极外围，其上设置有凸块，所述凸块上设置有连接孔，所述连接孔用于配合紧固件将所述卡具固定在阴极上；以及支撑结构，所述支撑结构通过紧固件与所述凸块连接。本发明的阴极固定装置取消阴极杯体底部的中间杆，由设置在阴极外围的卡具和与卡具连接的支撑结构来固定阴极，将承重部位由中间杆变成整体外圈受力，可以有效避免因中间杆变形而引起的短路，提高离子注入机的利用率，节约人力和物力。本发明还涉及包括所述阴极固定装置的离子源，以及利用上述阴极固定装置固定阴极的方法。 |
