一种金刚石镀膜系统、镀膜方法、终端及可读存储介质

基本信息

申请号 CN202011376251.1 申请日 -
公开(公告)号 CN112626484A 公开(公告)日 2021-04-09
申请公布号 CN112626484A 申请公布日 2021-04-09
分类号 C23C14/56;C23C28/00;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/02;C23C14/06;C25D5/48;C25D5/54 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 孙浩斌;颜练武;张华;李昌业;司守佶;王焕涛 申请(专利权)人 蓬莱市超硬复合材料有限公司
代理机构 天津盈佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 安娜
地址 265607 山东省烟台市蓬莱市南王街道206国道11号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开是关于一种金刚石镀膜系统、镀膜方法、终端及可读存储介质,涉及蒸镀设备技术领域,所述金刚石镀膜系统的支架中部两侧固定有连接柱,两个连接柱之间设置有底板;支架顶部设置有连接盘,连接盘上固定有伸缩杆,伸缩杆下端固定有盖体;盖体与底板密闭连接;凸台上设置有保护垫,保护垫上固定有换能器,换能器上侧设置有变幅杆,变幅杆上侧设置有汇流板,汇流板上设置有石墨加热电极,石墨加热电极内设置有微沉积坩埚;石墨加热电极与汇流板之间设置有绝缘绝热板。本发明通过伸缩杆控制盖体的开合,能够保证使用者的安全,同时能够提高工作效率,节省金刚石镀膜的时间;且本发明控制装置设置于第二立柱上,远离微沉积坩埚,进一步保证使用者的安全。