一种用于晶圆检测的移动载台机构
基本信息
| 申请号 | CN202110451025.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113192875A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113192875A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张俊杰 | 申请（专利权）人 | 上海图双精密装备有限公司 |
| 代理机构 | 上海海贝律师事务所 | 代理人 | 宋振宇 |
| 地址 | 201712上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括外壳，所述外壳的上表面中部固接有斗状套，所述斗状套的内部设有的吸风管，所述外壳的内部安装有用以带动吸风管升降的升降结构，所述外壳上设有用以从吸风管内部抽风的吸风结构，所述吸风结构包括：所述两个吸风管之间连接有连接管，所述外壳的上表面安装有负压风机，负压风机与连接管之间连接有连接软管，本发明中设置了吸风管和斗状套，吸风管能够在竖直方向上将晶圆定位住，斗状套能够在水平方向上将晶圆定位住，保证晶圆在被输送的过程中能够较为稳定，本发明晶圆在斗状套的内部上下移动时，为连续移动，所以斗状套可适应任何一种尺寸的晶圆。 |
