光刻机载片台清扫装置
基本信息
| 申请号 | CN202022430056.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214108106U | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN214108106U | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | B08B5/02（2006.01）I;B08B15/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;A61L2/18（2006.01）I;A61L101/34（2006.01）N | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 张俊杰 | 申请（专利权）人 | 上海图双精密装备有限公司 |
| 代理机构 | 上海汇齐专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱明福 |
| 地址 | 200000上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱，所述清洁箱的下表面为开口结构，所述清洁箱的右、右侧壁分别开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝，两个所述螺纹顶丝的相对端的延伸至清洁箱的内腔，所述螺纹顶丝的外表面螺纹连接有固定螺母。该光刻机载片台清扫装置，通过设置清洁箱和功能箱内部的吹风机构、吸尘机构和清洗机构组成的一套清扫装置，可以对光刻机载片台进行吹尘、吸尘和酒精清洗消毒的组合操作，通过设置清洁箱的下表面为开口结构，可以方便将清洁箱通过滑轮移动到载片台的上方位置，使得载片台位于清洁箱的内腔中，使得清洗环境处于半封闭的状态，提高了清扫的效果。 |
