一种光刻机的温度变频调节系统
基本信息
| 申请号 | CN202110450389.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113311670A | 公开（公告）日 | 2021-08-27 |
| 申请公布号 | CN113311670A | 申请公布日 | 2021-08-27 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张俊杰 | 申请（专利权）人 | 上海图双精密装备有限公司 |
| 代理机构 | 上海海贝律师事务所 | 代理人 | 宋振宇 |
| 地址 | 201712上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机的温度变频调节系统，包括工作台、定位机构、温控机构，所述工作台侧面的移位台车表面纵向设有组装板，所述定位机构包括置物平车、调位滑台、调距杆，所述置物平车纵向设在组装板的内腔一端，所述调位滑台设在工作台上方的两个传动盒之间，所述温控机构包括循环风箱、温度变送器、水冷散热箱，所述循环风箱的上表面设有光刻掩模板，所述温度变送器竖直设在调距杆一端侧面，所述水冷散热箱设在调距杆外侧的光刻镜头模组侧面一端。本发明温度变送器实时监测光刻镜头模组使用时板材表面的温度以实现变频控制，与此同时水冷散热箱将光刻镜头模组表面的热量经换热板输送至水冷散热箱以完成降温处理，使用效果好。 |
