一种用于光刻机上的真空检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202110451054.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113176715A | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN113176715A | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张俊杰 | 申请（专利权）人 | 上海图双精密装备有限公司 |
| 代理机构 | 上海海贝律师事务所 | 代理人 | 宋振宇 |
| 地址 | 201712上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于光刻机上的真空检测装置，包括底座，底座上侧安装有上罩体，上罩体内顶部设有滑槽，且滑槽内安装有Y轴丝杆和Y轴滑块，且两个Y轴滑块之间安装有横向支撑板，横向支撑板下侧通过支臂安装有X轴丝杆和X轴滑块，X轴滑块下侧安装有Z轴电动推杆，Z轴电动推杆下侧通过安装座安装有真空检测装置，上罩体内部一侧通过第一连接杆安装有第一定位夹座，上罩体内部另一侧通过第二连接杆安装有第二定位夹座，第二连接杆通过齿轮组传动连接有第一电机，本发明通过设有的Y轴丝杠、X轴丝杠和Z轴电动推杆，使得便于对真空检测装置沿Y轴、X轴和Z轴移动调节处理，从而满足不同位置的检测处理，有利于提高检测的效率。 |
