一种光刻机投影物镜温度均衡装置
基本信息
| 申请号 | CN202110449100.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113176710A | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN113176710A | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张俊杰 | 申请（专利权）人 | 上海图双精密装备有限公司 |
| 代理机构 | 上海海贝律师事务所 | 代理人 | 宋振宇 |
| 地址 | 201712 上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机投影物镜温度均衡装置，包括物镜主体，所述物镜主体的上端安装有上温度传感器，且物镜主体的下端设有下温度传感器，所述物镜主体的一侧设有第一半导体制冷片，且物镜主体的另一侧设有第二半导体制冷片，所述第一半导体制冷片的上端为热端，且第一半导体制冷片的下端为冷端，所述第二半导体制冷片的上端为冷端，且第二半导体制冷片的下端为热端，本发明在物镜主体的一侧设置了第一半导体制冷片，而在物镜主体的另一侧设置了第二半导体制冷片，以实现上端吸热下端放热，或者时上端放热下端吸热的目的，进而实现两端温度的平衡，本发明制作简单，并且不会遮挡光线，也不存在机械振动，保证了光线的稳定性。 |
