光刻机硅片台移动装置
基本信息
| 申请号 | CN202022433437.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213780634U | 公开（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申请公布号 | CN213780634U | 申请公布日 | 2021-07-23 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张俊杰 | 申请（专利权）人 | 上海图双精密装备有限公司 |
| 代理机构 | 上海汇齐专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱明福 |
| 地址 | 200000上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了光刻机硅片台移动装置，包括支撑平台，所述支撑平台的下表面固定安装有辅助支撑腿，所述支撑平台的上表面固定安装有第一支撑板，所述第一支撑板的上表面开设有第一条形槽，所述第一条形槽的内壁转动连接有第一滚轴，所述第一滚轴的表面搭接有硅片台，所述硅片台的上表面开设有放置槽。该光刻机硅片台移动装置，通过设置第一支撑板、压板、第一滚轴和第二滚轴，利用第一支撑板上的第一滚轴和压板上的第二滚轴夹紧硅片台，当硅片台在丝杠的带动下移动时，由于硅片台的上下两表面分别与第一滚轴和第二滚轴滚动连接，与滑动连接相比较，减少了第一滚轴、第二滚轴和硅片台之间的磨损，提高了硅片的加工精度。 |
