一种光刻机运动台反力抵消装置
基本信息
| 申请号 | CN202110450769.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113176714A | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN113176714A | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张俊杰 | 申请（专利权）人 | 上海图双精密装备有限公司 |
| 代理机构 | 上海海贝律师事务所 | 代理人 | 宋振宇 |
| 地址 | 201712上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机运动台反力抵消装置，包括机体；所述机体主要由外壳、底座和运动台组成，所述运动台底端通过螺栓固定安装在底座上侧，所述运动台主要由放置板和底板组成，所述放置板位于底板上侧，所述放置板和底板之间设置有软连接件，所述放置板和底板之间四周设置有减震组件，所述减震组件主要由插杆和插筒组成，所述插杆上端通过螺栓固定安装在放置板底端，所述插杆底端插入插筒内部，所述插筒内部位于插杆底端位置设置有弹簧，所述弹簧底端焊接在插筒内部底端。本发明在使用的过程中，减震组件能够对运动台的反力进行抵消，运动台在受力的过程中，减震组件内部的弹簧将会受到压力进行收缩，对压力进行缓冲。 |
