一种光刻机运动台系统
基本信息
| 申请号 | CN202110450418.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113176713A | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN113176713A | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张俊杰 | 申请（专利权）人 | 上海图双精密装备有限公司 |
| 代理机构 | 上海海贝律师事务所 | 代理人 | 宋振宇 |
| 地址 | 201712上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机运动台系统，包括基座以及位于基座上方的运动台，所述基座的上表面两侧均安装有防扩罩，所述防扩罩为两侧通风结构，且防扩罩的内部安装有并排的收风组件，所述收风组件包括固定在防扩罩内部的中轴，所述中轴的圆周外部转动安装有安装筒，所述安装筒的外部均匀的安装有扇叶，本发明设置了收风组件，在运动台运动的过程中产生的气流可推动扇叶，使得扇叶与安装筒能够发生转动，这样可消耗气流，可避免气流外扩，影响外部传感器的运行，本发明在基座上设置了镂空部，镂空部能够溢出部分气流，进一步避免气流影响基座与运动台上的传感器的运行，设置了减振橡胶，保证了运动台的稳定运行。 |
