镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201921505179.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210620936U | 公开（公告）日 | 2020-05-26 |
| 申请公布号 | CN210620936U | 申请公布日 | 2020-05-26 |
| 分类号 | C23C16/54 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王凯;何宝东;宋文庆;张建飞 | 申请（专利权）人 | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州佳博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市花桥镇金洋路15号1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种镀膜装置，其包括蒸发腔室以及固定在所述蒸发腔室的外表面上的支撑板，所述镀膜装置还包括与所述支撑板固定在一起的滑动元件以及与所述滑动元件相配合的导向元件，所述滑动元件能够在所述镀膜装置受热变形时沿平行于所述蒸发腔室的轴向的方向而相对所述导向元件移动，以补偿温度变形。 |
