冷却降温装置及包含该冷却降温装置的化学气相沉积设备
基本信息
| 申请号 | CN201921153917.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210529054U | 公开（公告）日 | 2020-05-15 |
| 申请公布号 | CN210529054U | 申请公布日 | 2020-05-15 |
| 分类号 | C23C16/448;C23C16/44 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张建飞;王凯;何宝东;宋文庆 | 申请（专利权）人 | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州佳博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市花桥镇金洋路15号1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种冷却降温装置及包含该冷却降温装置的化学气相沉积设备，其包括用于冷却气体流入的入口、与所述入口连通的绕流腔体、位于所述绕流腔体内的均匀化隔板以及用于所述冷却气体流出的出口；所述均匀化隔板将所述绕流腔体分隔成第一腔体以及第二腔体，所述均匀化隔板设有连通所述第一腔体与所述第二腔体的若干通孔，所述若干通孔至少包括靠近所述入口的第一通孔以及远离所述入口的第二通孔，其中所述第一通孔的面积小于所述第二通孔的面积。相较于现有技术，本实用新型通过优化均匀化隔板上第一、第二通孔的大小和位置分布，最终使冷却气体从出口流出绕流腔体时，在不同位置的出口的流量基本一致，从而起到均匀冷却气体的作用。 |
