镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201910834157.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110527946A | 公开（公告）日 | 2019-12-03 |
| 申请公布号 | CN110527946A | 申请公布日 | 2019-12-03 |
| 分类号 | C23C14/00;C23C16/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 何宝东;王凯;宋文庆;张建飞;盛兆亚 | 申请（专利权）人 | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州佳博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市花桥镇金洋路15号1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种镀膜装置，其包括具有镀膜腔室的主体部、盖板组件以及密封元件，所述盖板组件包括盖板以及固定在所述盖板上的摇臂；所述镀膜装置还包括用以顶起所述盖板组件的至少两组顶起机构以及用以驱动所述摇臂带动盖板绕第一转轴旋转的旋转驱动机构；所述摇臂设有位于所述第一转轴的一侧且与所述盖板相固定的固定部以及位于所述第一转轴的另一侧的施力部；所述旋转驱动机构包括旋转驱动件以及位置补偿机构，所述位置补偿机构与所述施力部相连，用以在所述盖板组件被顶起的过程中避免使所述旋转驱动件受力。如此设置，本发明的镀膜装置性能较好且易于操作。 |
