组合原料载具以及气相沉积镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201921481558.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210529055U | 公开（公告）日 | 2020-05-15 |
| 申请公布号 | CN210529055U | 申请公布日 | 2020-05-15 |
| 分类号 | C23C16/458 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 何宝东;王凯;宋文庆;盛兆亚;张建飞 | 申请（专利权）人 | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州佳博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市花桥镇金洋路15号1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种组合原料载具，其包括具有原料承载室的载具以及安装在所述载具上的蒸发促进装置，其中所述蒸发促进装置设有与所述原料承载室相连通且上下贯穿的若干镂孔以及将所述若干镂孔隔开的孔壁。本实用新型还涉及一种具有前述组合原料载具的气相沉积镀膜装置。相较于现有技术，本实用新型通过设置安装在载具上的蒸发促进装置，所述蒸发促进装置吸收载具受热后的热辐射，从而能够对每个镂孔中的原料进行更为均匀的加热，提高了蒸发速率，缩短了建压时间，提高了镀膜生产效率。 |
