一种镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202020636415.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212051641U | 公开（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申请公布号 | CN212051641U | 申请公布日 | 2020-12-01 |
| 分类号 | C23C16/52(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王凯;张建飞;盛兆亚;宋文庆 | 申请（专利权）人 | 苏州沃盾纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 胡彬 |
| 地址 | 215324 江苏省苏州市昆山市锦溪镇锦昌路158号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种镀膜设备，其属于镀膜技术领域，包括沉积室、镀膜载具和测厚仪，沉积室具有仓门，仓门上设有透明视窗；镀膜载具包括：测厚仪固定结构，其位于沉积室外，测厚仪固定结构包括固定于仓门上的支撑组件和可滑动设置于支撑组件上的固定组件；固定架，其位于沉积室内并固定于透明视窗上，固定架对应测厚仪固定结构，固定架包括平行于透明视窗的第一表面；测厚仪设置于固定组件，测厚仪具有平行于透明视窗的镜片。本实用新型提供的镀膜设备能够实现在线检测膜厚，并能降低测厚仪相对于沉积室的仓门发生移动的几率，提高测厚仪测量检测片上膜层厚度的准确度及电子产品的品质。 |
