一种真空吸笔
基本信息
申请号 | CN201120232549.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202132365U | 公开(公告)日 | 2012-02-01 |
申请公布号 | CN202132365U | 申请公布日 | 2012-02-01 |
分类号 | F16B47/00(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热; |
发明人 | 黄钦;王平;李晓华 | 申请(专利权)人 | 常州盛世电子技术有限公司 |
代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 金辉 |
地址 | 213144 江苏省常州市武进区邹区镇工业集中区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种真空吸笔,具有吸盘和笔杆,所述吸盘与笔杆内腔联通,所述笔杆上有一控制孔,所述控制孔与笔杆内腔联通。本实用新型减少了对硅片的污染和损伤,可以使吸附力在硅片吸附面上均匀分布,不会在局部形成吸痕或者形成鼓包,降低了破片率;吸盘上具有一个凹陷,所述凹陷与所述吸盘表面具有高度差,可以形成透气的缝隙;吸盘表面上贴有贴膜,可以减少对硅片的污染和损伤。 |
