一种真空吸笔

基本信息

申请号 CN201120232549.5 申请日 -
公开(公告)号 CN202132365U 公开(公告)日 2012-02-01
申请公布号 CN202132365U 申请公布日 2012-02-01
分类号 F16B47/00(2006.01)I 分类 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热;
发明人 黄钦;王平;李晓华 申请(专利权)人 常州盛世电子技术有限公司
代理机构 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 代理人 金辉
地址 213144 江苏省常州市武进区邹区镇工业集中区
法律状态 -

摘要

摘要 一种真空吸笔,具有吸盘和笔杆,所述吸盘与笔杆内腔联通,所述笔杆上有一控制孔,所述控制孔与笔杆内腔联通。本实用新型减少了对硅片的污染和损伤,可以使吸附力在硅片吸附面上均匀分布,不会在局部形成吸痕或者形成鼓包,降低了破片率;吸盘上具有一个凹陷,所述凹陷与所述吸盘表面具有高度差,可以形成透气的缝隙;吸盘表面上贴有贴膜,可以减少对硅片的污染和损伤。