一种刻蚀工装夹具
基本信息
申请号 | CN201120232554.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN202120885U | 公开(公告)日 | 2012-01-18 |
申请公布号 | CN202120885U | 申请公布日 | 2012-01-18 |
分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 黄钦;王平;李晓华 | 申请(专利权)人 | 常州盛世电子技术有限公司 |
代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 金辉 |
地址 | 213144 江苏省常州市武进区邹区镇工业集中区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种刻蚀工装夹具,具有上夹板、下夹板,所述上夹板和下夹板之间通过紧固件螺纹连接,所述上夹板、下夹板之间还设有两块与上夹板、下夹板大小相同的垫板。本实用新型在原有基础上增加两块垫板,产品易取放,并且磨损小,碎片率降低,且有一把手,易取易放;在上夹板上设有一把手,便于夹具的取放。 |
