一种刻蚀工装夹具

基本信息

申请号 CN201120232554.6 申请日 -
公开(公告)号 CN202120885U 公开(公告)日 2012-01-18
申请公布号 CN202120885U 申请公布日 2012-01-18
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 黄钦;王平;李晓华 申请(专利权)人 常州盛世电子技术有限公司
代理机构 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 代理人 金辉
地址 213144 江苏省常州市武进区邹区镇工业集中区
法律状态 -

摘要

摘要 一种刻蚀工装夹具,具有上夹板、下夹板,所述上夹板和下夹板之间通过紧固件螺纹连接,所述上夹板、下夹板之间还设有两块与上夹板、下夹板大小相同的垫板。本实用新型在原有基础上增加两块垫板,产品易取放,并且磨损小,碎片率降低,且有一把手,易取易放;在上夹板上设有一把手,便于夹具的取放。