一种主基板用表面精整制造打磨装置
基本信息
| 申请号 | CN201910483579.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110193760B | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN110193760B | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | B24B7/07;B24B7/00;B24B41/06;B24B41/02 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 于大明;姜珂;赵立军 | 申请（专利权）人 | 深圳市华芯技研科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市润启知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孟丽娟 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道新西路彩虹科技大厦2楼D | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种主基板用表面精整制造打磨装置，包括操作台、驱动电机和打磨盘，驱动电机设置于操作台的上方，操作台的顶端设有位置调整机构，操作台顶端的中部固定连接有载物罩，操作台底端的一侧固定连接有抽气泵，抽气泵通过抽气管与载物罩的内腔连通，抽气管的一端固定连接有密封管头，且密封管头与载物罩内腔的底端固定连接。本发明利用抽气泵和抽气管将载物罩内的空气抽出，使载物罩内形成负压，从而将主基板吸附固定在载物罩的顶端，以便于打磨盘对主基板的上表面进行全面打磨，省去了二次打磨的繁琐，提高了主基板的打磨质量。 |
