一种MPCVD制备掺杂氮磷石墨烯的方法
基本信息
| 申请号 | CN201810824857.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108910867A | 公开（公告）日 | 2018-11-30 |
| 申请公布号 | CN108910867A | 申请公布日 | 2018-11-30 |
| 分类号 | C01B32/186 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 陈木成;马肃霜 | 申请（专利权）人 | 恒力（厦门）石墨烯科技产业集团有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 361003 福建省厦门市中国(福建)自由贸易试验区厦门片区翔云一路95号运通中心604B单元之五一八 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种MPCVD制备掺杂氮磷石墨烯的方法，在微波等离子体沉积装置中进行，包括步骤如下：S1：将于P2O5粉末放入罩子带有孔的石英坩埚中，然后置于离子体反应腔内；S2：在清洗烘干过的硅衬底上镀一层金属催化剂薄膜，然后置于沉积室中。本发明通过微波等离子体气相化学沉积，直接反应制备得到氮磷共掺杂石墨烯，摒弃了对环境和设备存在污染和腐蚀的气体，制备工艺更加绿色环保；与氧化还原法相比，本发明方法性价比高，产量高，可制备大片径氮磷共掺杂石墨烯，厚度易于控制，可以规模化生产，并且石墨烯中的N原子和P原子掺杂浓度可调，具有较高的科研与产业化应用价值。 |
