一种P型半导体石墨烯的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810957102.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108975319A | 公开（公告）日 | 2018-12-11 |
| 申请公布号 | CN108975319A | 申请公布日 | 2018-12-11 |
| 分类号 | C01B32/186 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 陈木成 | 申请（专利权）人 | 恒力（厦门）石墨烯科技产业集团有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 361003 福建省厦门市中国(福建)自由贸易试验区厦门片区翔云一路95号运通中心604B单元之五一八 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于半导体制备领域，公开了一种P型半导体石墨烯的制备方法，本发明使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备P型半导体石墨烯，由以下步骤组成：将清洗干净并烘干过的特定基底放在反应台面上；将反应气体和硼源与H2混合气依次通入反应室，控制反应条件，即可获得掺杂硼的P型半导体石墨烯。本发明使用MPCVD法制备P型半导体石墨烯，将硼源与部分氢气混合通入反应舱室中，使得硼源在舱室中分布更加均匀，在石墨烯上掺杂的均一性更易控制，从而获得更高品质的P型半导体石墨烯，且工艺更加环保，可实现大规模工业化应用。 |
