一种基于计算机视觉的小尺寸芯片裂纹检测方法及系统
基本信息
申请号 | CN201911358896.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111179243A | 公开(公告)日 | 2020-05-19 |
申请公布号 | CN111179243A | 申请公布日 | 2020-05-19 |
分类号 | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/187;G06T5/20;G06T5/00 | 分类 | 计算;推算;计数; |
发明人 | 苗瑞昌 | 申请(专利权)人 | 武汉昕竺科技服务有限公司 |
代理机构 | 武汉红观专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 武汉昕竺科技服务有限公司 |
地址 | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区关山大道111号武汉光谷国际商务中心A座16层01-11室09室A176 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提出了一种基于计算机视觉的小尺寸芯片裂纹检测方法及系统,方法包括:获取小尺寸芯片的待测图像;对待测图像进行中值滤波;对待测图像进行灰度变换增强;通过最大类间方差法对待测图像进行图像分割以获取二值图像;对二值图像进行连通域标记以获取缺陷区域的像素点集合;通过缺陷区域的面积、重心、长轴、短轴及灰度值判断缺陷区域是否为裂纹缺陷。本发明直接通过缺陷区域的面积、重心、长轴、短轴及灰度值判断缺陷区域是否为裂纹,无需进行待测图像与标准图像的配准和位置矫正,也无需进一步识别多种缺陷中的裂纹缺陷,极大的简化了计算过程和计算量,且减少了引入的噪声干扰,提高了检测结果的可靠性。 |
