一种芯片生产用清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN201920796640.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210207808U | 公开（公告）日 | 2020-03-31 |
| 申请公布号 | CN210207808U | 申请公布日 | 2020-03-31 |
| 分类号 | B08B3/02(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 张益铭 | 申请（专利权）人 | 上海芯强微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200040上海市静安区南京西路1486号3号楼422室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片生产用清洗设备，包括基座，所述基座底部外壁的两侧均焊接有支架，且基座的顶端焊接有封闭框，所述封闭框的两侧均开有通口，且封闭框的顶端外壁设置有供水机构，所述基座顶端的一边焊接有烘干箱，且烘干箱内设置有烘干组件，所述封闭框的顶端内壁设置有喷淋清洗机构。本实用新型机械化喷水清洗，能够通过水泵抽液的方式在芯片上进行喷淋清洗液，快速全面清洁，提高了芯片的清洗效率，能够通过烘干风机吹风烘干的方式，加速芯片干燥，能够有效节省芯片干燥时间，提高了芯片加工的生产效率，且设置斜板能够通过斜板将芯片滑出。 |
