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晶圆盒搬运机器人

基本信息

申请号 CN202110189522.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112936217A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112936217A 申请公布日 2021-06-11
分类号 B25J5/00;B25J19/00 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 黄宗勇;丁凯旋;杨超 申请（专利权）人 深圳优艾智合机器人科技有限公司
代理机构 深圳市力道知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 何姣
地址 518000 广东省深圳市福田区深南中路2070号电子科技大厦D座5楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及晶圆搬运技术领域，具体公开一种晶圆盒搬运机器人。晶圆盒搬运机器人包括自动导引车、托持装置、设于自动导引车上的晶圆盒承载装置及用于驱动托持装置运动的机械臂；托持装置用于托持两相对侧分别凸设有托柄的晶圆盒，包括两个间隔相对设置以分别用于一对一承托两个托柄的承托臂和连接于两个承托臂之间的连接臂；晶圆盒承载装置包括安装于自动导引车上的座体和设于座体上的承载平台；承载平台上形成有至少一个用于承载晶圆盒的容置槽；机械臂的一端与座体连接、另一端与托持装置连接以使托持装置托持晶圆盒至容置槽中或从容置槽中取出。本发明的晶圆盒搬运机器人具有晶圆盒托持方便、可控性好、可靠性高及搬运效率高等特点。